流量的測量和控制不因溫度或壓力的波動而失準 測量控制的自動化、精確地定量控制流量 適用范圍寬、準確度高、重復性好 體積小巧、安裝方便、操作簡單、技術先進、符合發(fā)展潮流
1.流量的測量和控制不因溫度或壓力的波動而失準
對于多數(shù)流量測控系統(tǒng)而言,很難避免系統(tǒng)的壓力波動及環(huán)境和介質的溫度變化。對于體積流量計,壓力和溫度的波動將導致較大的誤差,對于質量流量計/質量流量控制器,則一般可以忽略不計。
2.測量控制的自動化
質量流量計/質量流量控制器可以將流量測量值以標準電信號形式輸出。這樣很容易實現(xiàn)對流量的數(shù)字顯示累積流量自動計量、數(shù)據(jù)自動記錄、計算機管理等。對質量流量控制器而言,還可以實現(xiàn)流量的自動控制。通常,模擬的MFC/MFM輸入輸出信號為0-5V或4-20mA,數(shù)字式MFC/MFM還配有RS232或RS485數(shù)字串行通訊口,能非常方便地與計算機連接,進行自動控制。
3.精確地定量控制流量
質量流量控制器可以精確地控制氣體的給定量,這對很多工藝過程的流量控制、對于不同氣體的比例控制等特別有用。
4.適用范圍寬
在很寬的工作壓力范圍,我們的產品可以從真空直到10MPa;可以適用于多鐘氣體介質(包括一些腐蝕性氣體,如HCL);有很寬的流量范圍,我們的產品小流量范圍可達0-2SCCM,大流量范圍可達0-200SLM.流量顯示的分辨率可達滿量程的0.1%,流量控制范圍是滿量程的2-100%(量程比為--50:1),因此在很多領域得到應用。
5.準確度高、重復性好
我們的產品準確度可以達到±1%F.S,重復性為±0.2%F.S
6.體積小巧、安裝方便、操作簡單
7.技術先進、符合發(fā)展潮流